Valmetod för vakuumpump
När du väljer en vakuumpump måste du vara uppmärksam på följande saker:
1. Vakuumpumpens arbetstryck bör uppfylla de ultimata vakuum- och arbetstryckskraven för vakuumutrustningen. Till exempel kräver vakuumbeläggning en vakuumgrad på 110-5mmHg, och vakuumgraden för den valda vakuumpumpen bör vara minst 510-6mmHg. Vanligtvis väljs pumpens vakuumgrad att vara hälften till en storleksordning högre än vakuumutrustningens vakuumgrad.
2. Välj korrekt arbetspunkt för vakuumpumpen. Varje pump har ett visst arbetstrycksområde, såsom: diffusionspumpen är 10-3~10-7mmHg, i ett så brett tryckområde ändras pumpens pumphastighet med trycket och dess stabila funktion tryckintervallet är 510-4 ~510-6mmHg. Därför bör arbetspunkten för pumpen väljas inom detta område, och den kan inte tillåtas arbeta under en längre tid under 10-8mmHg. Ett annat exempel är att titansublimeringspumpen kan arbeta under 10-2mmHg, men dess arbetstryck bör vara mindre än 110-5mmHg.
3. Under sitt arbetstryck bör vakuumpumpen kunna ta bort all gas som genereras under vakuumutrustningens process. 4. Kombinera vakuumpumpen på rätt sätt. På grund av den selektiva pumpningen av vakuumpumpar kan ibland inte en typ av pump uppfylla pumpkraven, och flera pumpar måste kombineras för att komplettera varandra för att uppfylla pumpkraven. Till exempel har titansublimeringspumpen en hög pumphastighet för väte, men kan inte pumpa helium, medan den trepoliga sputtringsjonpumpen (eller den tvåpoliga asymmetriska katodförstoftningsjonpumpen) har en viss pumphastighet för argon. Tillsammans kommer vakuumanordningen att få en bättre vakuumgrad. Dessutom kan vissa vakuumpumpar inte arbeta under atmosfärstryck och kräver förvakuum; vissa vakuumpumpar har ett utloppstryck som är lägre än atmosfärstrycket och kräver en främre pump, så de måste alla användas i kombination.
5. Krav på oljeförorening av vakuumutrustning. Om det strikt krävs att utrustningen är oljefri bör olika oljefria pumpar väljas, såsom: vattenringpump, molekylsiladsorptionspump, sputterjonpump, kryogenpump etc. Om kraven inte är stränga kan du kan välja en oljepump, plus några anti-oljeföroreningsåtgärder, såsom att lägga till kylfällor, bafflar, oljefällor, etc., kan också uppfylla kraven på rent vakuum.
6. Förstå sammansättningen av den pumpade gasen, om gasen innehåller kondenserbar ånga, om det finns partikeldamm, om det är frätande etc. När du väljer en vakuumpump måste du känna till gassammansättningen och välja motsvarande pump för gas som ska pumpas. Om gasen innehåller ånga, partiklar och frätande gaser bör det övervägas att installera extra utrustning såsom kondensorer, dammuppsamlare etc. på pumpens inloppsrörledning.
7. Hur påverkar oljeångan som släpps ut från vakuumpumpen miljön? Om miljön inte tillåter föroreningar kan du välja en oljefri vakuumpump, eller släppa ut oljeångan till utsidan.
8. Om vibrationen som genereras av vakuumpumpen har någon inverkan på processen och miljön. Om processen inte tillåter, välj en pump utan vibration eller vidta antivibrationsåtgärder.
9. Vakuumpumpens pris, drift och underhållskostnad.